膜厚儀
基于分析薄膜表面和界面反射光相干涉形成的反射譜,實(shí)現(xiàn)各種介質(zhì)保護(hù)膜、半導(dǎo)體薄膜、玻璃鍍膜等膜厚快速表征
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光譜橢偏儀
通過(guò)橢偏參數(shù)、透射/反射等參數(shù)測(cè)量,實(shí)現(xiàn)各種單層到多層的各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學(xué)常數(shù)快速表征
ME-L 穆勒矩陣橢偏儀
ME-L 是一款科研級(jí)全自動(dòng)高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了頤光科研團(tuán)隊(duì)在橢偏技術(shù)多年的投入,其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù),包括消色差補(bǔ)償器、雙旋轉(zhuǎn)...
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